substratepreparatie
Substraatpreparatie is het geheel van handelingen die nodig zijn om een substraat geschikt te maken voor verdere verwerking, analyse of karakterisatie. Het doel is contaminatie te verwijderen, en de oppervlakte-eigenschappen zodanig af te stemmen dat de volgende stap, zoals dunne-filmentdepots, lithografie of nanostructurering, betrouwbaar en reproduceerbaar verloopt. Een goede preparatie verhoogt de betrouwbaarheid van metingen en de prestaties van apparaten.
De aanpak van substraten varieert met het materiaal en de toepassing, maar kent doorgaans enkele basisonderdelen:
Veel gebruikte methoden voor substratepreparatie omvatten mechanische behandeling en polijsten om vlakheid en ruwheid te controleren;
Toepassingen variëren van siliciumwafers en glas tot metalen en polymeren, en komen voor in elektronische en