vacuümstelsel
Een vacuümstelsel is een gesloten installatie die is ontworpen om een vacuüm te creëren en te behouden in een kamer of leidingnetwerk door gasmoleculen weg te zuigen. Het doel is de druk ver onder de atmosferische druk te brengen, zodat processen en reacties mogelijk worden die in lucht niet kunnen verlopen, of om contaminatie en oxidatie te beperken.
Een dergelijk systeem bestaat doorgaans uit een vacuumpomp, een vacuümkamer, leidingen met afsluiters, meetinstrumenten en besturingsapparatuur.
Vacuumklassen variëren. Rough vacuum ligt ongeveer tussen 1 en 1000 millibar (0,001–1 bar). High vacuum en ultrahigh
Toepassingen van vacuümstelsels omvatten halfgeleiderfabricage (PVD, sputterdepositie), elektronmicroscopie, massaspectrometrie, vacuümdistillatie en verschillende coatingprocessen, materiaalonderzoek en
Bediening en onderhoud richten zich op lekdetectie (bijv. heliumlektests), bake-out om uitgas te verminderen, en het