vacuüm

Een vacuüm is een regio of ruimte waarin de aanwezigheid van materie extreem gering is, oftewel een toestand waarbij de gasdruk aanzienlijk lager ligt dan de atmosferische druk. In de natuur bestaat nooit een perfect lege ruimte; zelfs in vacuüm blijven moleculen voorkomen. Het begrip wordt in het Nederlands meestal uitgedrukt in druk (pascal, torr, of millibar) en onderscheidt zich van een volkomen leegte door de resterendeeltjes en de druk.

Vacuümniveaus worden onderverdeeld in ruw vacuüm, hoog vacuüm en ultrahoog vacuüm, afhankelijk van de druk. Belangrijke meetapparatuur omvat onder meer manometers en verschillende typen vacuumgauge zoals Pirani- en ionengauges. Een vacuüm kan ontstaan door het verwijderen van moleculen met pompen en door het beperken van uitgas uit materialen.

Vacuum wordt bereikt met pompen en systemen zoals mechanische pomp (rotor-vane, diafragmepompen), turbopompen, diffusie- en cryopompen, vaak in combinatie met lekkagepreventie en uitgasbeperking.

Toepassingen van vacuüm bestrijken onder meer elektronenenmicroscopie, röntgendiffractie, coatings en sputtergieten, fabricage van halfgeleiders, vacuümverpakking, massaspectrometrie, en ruimtevaart- en materiaalsimulaties.

Historisch gezien mondde het begrip uit in vroegmoderne experimenten met vacuüm, zoals die van Torricelli en Boyle in de 17e eeuw, terwijl de moderne vacuümtechniek zich vooral in de 20e eeuw ontwikkelde en breed toepasbaar werd in wetenschap en industrie.