Kontaktlagen
Kontaktlagen (sing. Kontaktlage) bezeichnet in der technischen Fachsprache eine dünne Schicht, die zwischen zwei Materialien angeordnet wird, um Kontakt zu ermöglichen oder zu steuern. Der Begriff wird in verschiedenen Fachgebieten verwendet, wobei der konkrete Zweck variiert: elektrischer Kontakt, Haftvermittlung, chemische Diffusionseinschränkung oder mechanischer Kontaktkomfort. Typische Funktionen sind die Sicherung eines elektrischen Kontakts (ohmischer oder Schottky-Kontakt in der Halbleitertechnik), die Verbesserung der Haftung eines Beschichtungs- oder Klebstoffsystems oder die Verhinderung interdiffundierender Reaktionen zwischen Substrat und Beschichtung.
In der Halbleitertechnik dienen Kontaktlagen oft als elektrische Kontakte zu Substraten oder Bauelementen; sie können aus
Herstellung und Charakterisierung erfolgen durch Abscheidung oder Beschichtung, etwa Sputtering, chemische Dampfablagerung, elektrochemische Abscheidung oder Klebeverfahren.
Siehe auch: Kontaktfläche, Diffusionsbarriere, Haftschicht, Intermediärlage.