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Halbleiterfabriken

Halbleiterfabriken sind spezialisierte Produktionsanlagen, in denen integrierte Schaltungen hergestellt werden. In der Front-End-Waferfertigung werden Halbleiterwafer aus Silizium oder anderen Materialien schichtweise durch Fotolithographie, Abscheidung, Dotierung und Ätzen so strukturiert, dass Transistoren entstehen. Die Back-End-Verarbeitung umfasst Verpackung und Tests der fertigen Chips, bevor sie in elektronische Systeme eingebaut werden.

Sauberkeit und Umweltorganisation sind zentrale Merkmale dieser Werke: Reinsträume mit extrem niedriger Partikelkonzentration, präzise Klima- und

Zu den gängigen Fertigungstechniken gehören Oxidation, Dünn- und Dickabscheidung (Deposition), Lithographie, Ätzen, Dotierung durch Diffusion oder

Die Halbleiterproduktion ist kapitalintensiv und global konzentriert. Bedeutende Standorte befinden sich in Ostasien, Nordamerika und Europa.

Umwelt-, Sicherheits- und geopolitische Aspekte beeinflussen Planung und Versorgungsketten. Neben Investitions- und Technologieschutzfragen gewinnen Nachhaltigkeitsziele, Abfall-

Luftführung
sowie
strenge
Wassermanagement-
und
Chemikalienprozesse.
Große
Mengen
ultrareines
Wasser,
Chemikalien
und
Abfälle
werden
behandelt,
überwacht
und
recycelt.
Ionenimplantation
sowie
Planarisierung
(CMP).
Für
fortschrittliche
Bauteile
kommen
EUV-Lithographie
und
mehrstufiges
Mustering
zum
Einsatz.
Wafergrößen
von
200
bis
300
Millimetern
sind
üblich,
und
die
Fertigung
ist
stark
automatisiert,
mit
strenger
Prozesskontrolle
zur
Verbesserung
von
Yield
und
Durchsatz.
Bedeutende
Hersteller-Cluster
finden
sich
in
Taiwan
(TSMC,
UMC),
Südkorea
(Samsung,
SK
Hynix),
den
USA
(Intel,
GlobalFoundries,
Micron)
sowie
Japan
(Nikon,
Tokyo
Electron)
und
Europa
(STMicroelectronics,
Infineon).
ASML
aus
den
Niederlanden
ist
ein
zentraler
Lieferant
von
Lithographiesystemen.
und
Wasserrecycling
sowie
die
Reduktion
von
Energiebedarf
an
Bedeutung.