Entvakuung

Entvakuung ist in der Vacuumtechnik der Prozess, bei dem eine zuvor evakuierte Kammer oder Anlage wieder auf Umgebungs- bzw. Normaldruck gebracht wird. Sie folgt auf die Phase der Evakuierung und wird notwendig, wenn Anlagen wieder in den Normalbetrieb überführt werden sollen oder Proben in Kontakt mit Luft gebracht werden müssen. Ziel ist es, Kontaminationen zu vermeiden und eine kontrollierte Druckanpassung sicherzustellen.

Der Entvakuungsvorgang erfolgt in der Regel kontrolliert durch Belüften der Kammer mit einem Inertgas wie Stickstoff oder Argon. Das Einströmen des Gases wird über Ventile, Massendurchflussregler und Drucksensoren gesteuert, um einen schonenden Druckanstieg zu gewährleisten und Kondensation, Oxidation oder Outgassing zu minimieren. In sensiblen Systemen kommen mehrstufige Purge-Zyklen zum Einsatz, oft verbunden mit kurzen Zwischenventilen und sinkenden Spülraten, um Restgase effizient zu entfernen.

Typische Anwendungen umfassen Labor-, Forschungs- und Industriekammern, Vakuumöfen, Speichersysteme und Prüfeinrichtungen in der Halbleiter- oder Materialforschung, wo nach dem Vakuum ein kontrollierter Kontakt mit Luft erforderlich ist. Die Wahl der Gasgüte, der Belüftungsrate und der Abfolge von Purge- und Druckaufbau hängt von Materialverträglichkeiten, Kondensationsempfindlichkeiten und gewünschter Reinigungswirkung ab.

Sicherheit und Qualitätssicherung beachten: Überwachung der Druck- und Gasströme, Vermeidung von Luftinfiltration, geeignete Belüftung und Schutzmaßnahmen gegen Asphyxie durch Inertgase in geschlossenen Räumen. Leckagen oder unkontrollierte Luftzufuhr können den Prozess stören, weshalb Lecktests und dokumentierte Ablaufprozeduren sinnvoll sind.

Siehe auch Evakuierung, Vakuumtechnik, Druckregelung.