vakuumsystemen

Vakuumsystemen zijn installaties die een vacuüm creëren en handhaven in een afgesloten ruimte. Het doel is om gasmoleculen te verwijderen of te beperken, waardoor processen bij lage druk kunnen plaatsvinden en contaminatie, warmteoverdracht en oxidatie worden beperkt. Een typisch systeem bestaat uit een vacuümkamer, een of meer pompen, leidingwerk, afdichtingen en meet- en regelapparatuur. Voor betere prestaties wordt vaak een forepump gecombineerd met een hoofdvacuumpomp. De druk wordt bewaakt met vacuümmeters en lektestapparatuur.

Pomptechnologieën worden normaal verdeeld in pompen voor ruwe vacuüm en pompen voor hoge en ultra‑hoge vacuüm. Voor ruwe vacuüm worden vaak oliegebaseerde mechanische pompen gebruikt, soms in combinatie met een droge pomp. Voor hogere bereiken komen turbomoleculaire pompen, diffusiepompen, cryopompen en ionenpompen in beeld. Moderne systemen maken vaker gebruik van droge (olievrije) pompen om achterblijvende verontreinigingen te voorkomen. Een systeem kan verschillende pompensoorten combineren om een groot debiet en lage uiteindelijke druk te realiseren.

Toepassingen van vakuumsystemen zijn onder meer metallurgie en coatingprocessen (zoals sputter- en PVD/CVD-processen), elektronica‑ en halfgeleiderfabricage, beeldvorming en analyses in laboratoria (zoals elektronentransmissie- en scanning-elektronenmicroscopie), vacuümoventilatie en verpakkingsprocessen. Belangrijke prestatiekenmerken zijn de pompdebiet, de uiteindelijke (ultieme) druk en de betrouwbaarheid.

Onderhoud en betrouwbaarheid hangen af van lekkages, uitgas, materiaalkeuze en opslagomstandigheden. Leidingwerk en afdichtingen worden periodiek gecontroleerd; bake-out en heliumlekkdetectie helpen bij het behouden van lage uitgassen en hoge zuiverheid.