diffusiepompen
Diffusiepompen zijn oliegebaseerde vacuumpompen die werken zonder bewegende onderdelen in het pompengedeelte. Ze worden gebruikt om een vacuüm van middelhoge tot hoge kwaliteit te bereiken in wetenschappelijke en industriële systemen. Doordat ze meestal samen met een voorpomp (forepump) worden toegepast, brengen ze de druk in een eerste stadium omlaag naar ongeveer 10^-3 mbar, waarna de diffusiepomp het vacuüm verder kan verbeteren tot waarden tussen circa 10^-3 en 10^-5 mbar, afhankelijk van de installatie en systemen die worden gepompt.
Het werkingsprincipe berust op verwarmde olie die in de pomp verdampt. De damp diffuseert via verschillende
Diffusiepompen zijn vooral geschikt voor condensabele en niet-reactieve gassen en voor processen zoals vacuümcoating, sputteren of
Onderhoud omvat olie-aanvulling en -vervanging, controle op olie-backstreaming, en periodieke reiniging van filtrelementen. Hoewel turbomoleculaire en