vacuümdruk

Vacuümdruk is de druk in een afgesloten ruimte wanneer de hoeveelheid gas is verminderd, waardoor een vacuümachtige omgeving ontstaat. Het is de absolute druk van het aanwezige residu gas ten opzichte van een perfecte vacuüm. In de praktijk wordt vacuüm meestal beschreven aan de hand van hoe laag de druk is ten opzichte van atmosferische druk.

Eenheden en notatie: vacuümdruk wordt uitgedrukt in pascal (Pa), kilopascal (kPa), bar of Torr. In vrijwel alle toepassingen gaat het om absolute druk (Pabs). Het verschil met de atmosferische druk is het gauge- of relatieve gedeelte, Pg = Pabs − Patm. Bij vacuüm ligt Pabs duidelijk onder Patm, en vaak ook onder de drempelwaardes die voor toepassingen relevant zijn.

Indeling en meetmethoden: in de vakwereld wordt vacuüm vaak onderverdeeld in ruwvacuum (laag vacuüm), hoog vacuüm en ultrastrak vacuüm (ultra-high vacuum). Voor metingen bestaan verschillende typen vacuümmeters: Pirani- en thermokoppelmeters voor hogere drukken, ionisatiemeters voor diepe vacuüm en, historisch, McLeodmeters voor extreem lage drukken. Meetsets worden gekozen op basis van gewenste drukbereik en gasmengsel.

Productie en onderhoud: vacuüm wordt gerealiseerd met behulp van pompen zoals roterende verdringerpompen, turbomoleculairepompen, diffusiepompen of ionenpompen, aangevuld met lekdichtheid en bake-out procedure. Uitgassing van materiaal, lekkages en verontreinigingen kunnen de vacuüm verslechteren; daarvoor worden materialen gekozen met lage uitgassing en wordt vaak gebakken.

Toepassingen: vacuümsystemen zijn essentieel in coatingtechnologie, halfgeleiderproductie, vacuümverpakking, elektronenmicroscopie, cryogemanipulatie en experimentele wetenschap waar controle over gasonttrekking cruciaal is.