getterpompen

Getterpompen zijn vacuümtechnologische hulpmiddelen die gasmoleculen uit een vacuümruimte verwijderen door gebruik te maken van getter-materialen. Deze oppervlakken binden chemisch of fysisch aan gasmoleculen, waardoor de druk daalt en een hogere vacuümkwaliteit ontstaat. Getterpompen hebben doorgaans geen bewegende delen en vereisen alleen een initiële evacuatie met conventionele vacuumpompen, gevolgd door activatie van de getterlaag indien nodig.

Getterpompen komen meestal in twee hoofdtypen voor: verdampbare getters (VG) en niet-verdampbare getters (NVG). Verdampbare getters worden in situ gevormd door verdamping van gettermateriaal op een substraat, waarna een actieve getterlaag ontstaat die gasmoleculen chemisorbeert. Ze leveren hoge pumping-capaciteit en worden vaak toegepast in vacuümbuizen, fotomultiplicatoren en bepaalde sensoren.

Niet-verdampbare getters bestaan als coatings die geactiveerd worden door verhitting tot een paar honderden graden Celsius, waarna ze een permanente pumpingcapaciteit krijgen. NVG-pompen zijn vooral effectief bij ultrahoog vacuüm en hebben weinig bewegende onderdelen, wat ze geschikt maakt voor langdurig onderhoudsvrij gebruik.

Toepassingen omvatten vacuümsystemen in deeltjesversnellers, röntgen- en beeldvormende apparatuur en de halfgeleiderfabricage. Beperkingen zijn onder meer beperkte pompingscapaciteit voor inert gasen zoals edelgassen, gevoeligheid voor verontreiniging (water, zuurstof, koolstofmonoxide) en de behoefte aan periodieke activatie of vervanging om optimale prestaties te behouden.