Wafersystemen

Wafersystemen zijn geautomatiseerde of semi-automatische systemen die in halfgeleiderfabrieken en onderzoeksomgevingen worden gebruikt voor het hanteren, transporteren, verwerken en opslaan van wafer-substraten. Waferformaten variëren doorgaans van enkele tientallen millimeter tot 300 millimeter in diameter, en systemen zijn ontworpen om deze wafers met minimale contaminatie en schade te verplaatsen tussen processtappen en opslagruimten.

De belangrijkste onderdelen van wafersystemen zijn robotarmen met klemmen of vacuümklemmen, transportlassen of -banen, en apparatuur voor het vastzetten en beschermen van wafers in carriers zoals cassette, FOUPs (Front-Opening Unified Pods) of SMIF-pods. Geavanceerde systemen gebruiken sensors, veiligheids- en visuele controles, en software om flitssystemen, track- en load-portfunctionaliteit te coördineren. Doorgaans wordt een cleanroomomgeving gehandhaafd om deeltjes en stof uit te sluiten.

Toepassingen en typen wafersystemen omvatten transport- en opslagringen die wafers tussen bewerkingsstations (zoals lithografie, funtionele depositie, etsen en reiniging) verplaatsen, evenals inspectie- en metrologiesystemen die wafers scannen en karakteriseren. Voorbeelden zijn wafer-transport- en handlingstations, wafer-processingunits en lineaire of geïntegreerde productielijnen die meerdere stappen automatiseren. Grotere fabrieken combineren doorgaans meerdere systemen tot een volledig geautomatiseerde waferflow.

Voordelen van wafersystemen zijn verhoogde productiviteit, verbeterde yield door vermindering van menselijke blootstelling en contaminatie, en betere traceerbaarheid. Uitdagingen omvatten hoge aanschaf- en onderhoudskosten, compatibiliteit met verschillende waferformaten en compatibiliteit met cleanroomnormen en SEMI-standaarden.