UltrafeinPolieren

UltrafeinPolieren ist ein Oberflächenbearbeitungsverfahren, das darauf abzielt, die Oberflächenrauheit durch sehr feine Schleif- oder Polierpartikel sowie chemische Unterstützung auf Werte im Nano- bis Subnanometerbereich zu reduzieren. Das Verfahren wird sowohl als eigenständige Endbearbeitung als auch als Abschluss eines mehrstufigen Polierprozesses eingesetzt.

Der Prozess kombiniert mechanische Abrasion mit extrem feinen Partikeln (häufig Diamant, Siliziumdioxid, Aluminiumoxid oder keramische Abrasive) in einer Trägerflüssigkeit (Schleifmittel) und kann chemisch aktiviert werden, etwa durch Reaktive oder solventbasierte Zusätze. In vielen Anwendungen kommt eine chemisch unterstützte Politur oder chemisch-mechanische Politur zum Einsatz. Die Wahl des Trägers, der Pad- oder Schleifbahnen, die Abtragsrate und die Prozessparameter (Druck, Rotationsgeschwindigkeit, Slurry- und Standzeit) bestimmen die Oberflächenqualität.

Typische Anwendungsfelder liegen in der Optik (Linsen, Spiegel), der Halbleitertechnik (Siliziumwafer, Leiterplatten), der Keramik- und Metallerzeugung sowie in der Präzisionswerkzeug- und Implantatfertigung. Materialien inklusive Glas, Silizium, Keramik, Titanlegierungen und Polymere können poliert werden, abhängig von der abrasiven Slurry.

Zu den Vorteilen gehören sehr glatte Oberflächen mit minimaler Welligkeit und hoher optischer Qualität. Nachteile sind kosten- und zeitintensive Abläufe, eine sorgfältige Prozesskontrolle sowie das Risiko der Kontamination durch Partikel oder Chemikalien. Umwelt- und Arbeitssicherheitsaspekte betreffen Slurryentsorgung und sichere Handhabung der Chemikalien.

UltrafeinPolieren bietet eine knappe Übersicht über die Endbearbeitung mit ultrapräzisen Oberflächenmerkmalen.