Plasmaonderdelen

Plasmaonderdelen verwijzen naar de componenten die nodig zijn voor de generatie, instandhouding of toepassing van plasma in technologische systemen. Plasma is een geïoniseerd gas dat in diverse processen wordt gebruikt, bijvoorbeeld bij materiaalbewerking, oppervlaktebehandeling, analyse en displaytechnologie.

Belangrijke categorieën zijn plasma-bronnen (DC, RF of microgolfplasma), elektroden en geleiders, gas- en toevoersystemen, vacuümkamers en pompinstallaties, elektrische voedingen en impedantie-matching, koelsystemen en afdichtingen, en diagnostische en controleapparatuur zoals spectroscopie en probes. Daarnaast spelen de materialen van de onderdelen en de compatibiliteit met de gebruikte gassen een rol, bijvoorbeeld roestvrij staal, glas/quarz en keramiek. Onderhoud en veiligheid, zoals lekpreventie, interlocks en correcte afscherming, zijn essentieel.

Toepassingsgebieden omvatten plasmabehandeling van oppervlakken, coatingdepositie en plasmadiagnostiek. De onderdelen moeten betrouwbaar functioneren onder de specifieke omgevingsomstandigheden (druk, temperatuur, gasmengsels) en nauwkeurig bedienbaar zijn door de bijbehorende besturing- en detectiesystemen.Goed ontwerp en materiaalkeuze dragen bij aan levensduur, processtabiliteit en veiligheid van systemen die plasma gebruiken.