Plasmaonderdelen
Plasmaonderdelen verwijzen naar de componenten die nodig zijn voor de generatie, instandhouding of toepassing van plasma in technologische systemen. Plasma is een geïoniseerd gas dat in diverse processen wordt gebruikt, bijvoorbeeld bij materiaalbewerking, oppervlaktebehandeling, analyse en displaytechnologie.
Belangrijke categorieën zijn plasma-bronnen (DC, RF of microgolfplasma), elektroden en geleiders, gas- en toevoersystemen, vacuümkamers en
Toepassingsgebieden omvatten plasmabehandeling van oppervlakken, coatingdepositie en plasmadiagnostiek. De onderdelen moeten betrouwbaar functioneren onder de specifieke