Flachmessgeräte

Flachmessgeräte sind Messgeräte zur Bestimmung flacher, planarer Merkmale von Werkstücken. Sie dienen vor allem der Bewertung der Ebenheit, Planparallelität und der Dicke von dünnen bzw. flachen Teilen in Bereichen wie Mechanik, Optik und Halbleiterfertigung. Typische Zielgrößen sind Ebenheit (Abweichung von einer idealen Ebene) sowie Planparallelität der Oberflächen zueinander.

Sie arbeiten in taktilen oder berührungslosen Messprinzipien. Taktil-flachmessgeräte verwenden flache Referenzflächen aus Granit oder keramischen Materialien, präzise Führungsbahnen und taktile Sensoren, um Abstände und Höhenunterschiede abzutasten. Optische Flachmessgeräte setzen auf Interferometrie oder andere berührungslose Prinzipien, bei denen eine Referenzebene mittels Beleuchtung und ggf. Kameras die Planlage der zu prüfenden Fläche sichtbar macht.

Anwendungen finden Flachmessgeräte vor allem in der Feinmechanik, Werkzeugmaschinenbau, Optik und der Elektronikfertigung, wo flache Oberflächen mit engen Toleranzen geprüft oder Kalibrierungen von Messbänken durchgeführt werden. Sie dienen typischerweise der Qualitätskontrolle, der Prozessüberwachung und der Einhaltung von Spezifikationen bei der Herstellung.

Messgrößen umfassen Ebenheit, Planparallelität und oft auch Dickenmessung. Oberflächenrauheit wird separat bewertet, während Temperatur- und Materialabhängigkeiten die Messergebnisse beeinflussen. Daher gehören Kalibrierung, Referenzflächenpflege und Temperaturregelung zu den wesentlichen Begleitmaßnahmen.

Standards wie ISO 1101 der Geometrischen Produktspezifikation regeln Toleranzen, Referenzsysteme und Messunsicherheiten; Herstellerangaben ergänzen das Spektrum mit Spezifikationen zu Referenzplatten, Kalibrierintervallen und Genauigkeiten.