vacuüminstallaties
Vacuüminstallaties zijn geïntegreerde systemen die een ruimte of proces onder een gecontroleerd vacuüm brengen en behouden. Ze worden gebruikt in industriële productie en laboratoriumtoepassingen waar een lage druk noodzakelijk is voor processen zoals coating, materiaalonderzoek, analysesoftware en monteerwerk.
Een vacuüminstallatie bestaat doorgaans uit een vacuümpomp, een vacuümkamer en aansluitingen zoals kleppen, flenzen en afdichtingen.
Pomptechnieken en vacuumniveaus variëren afhankelijk van de toepassing. Mechanische pompen (bijvoorbeeld zuiger/rotor- en scrollpompen) leveren meestal
Toepassingen en sectoren omvatten coating en depositie (PVD/CVD), halfgeleiderfabricage, microscoop- en massaspectrometrieapparatuur, vacuümovens en droogprocessen. Ontwerpkeuzes