Vacuüminstallaties

Vacuüminstallaties zijn geïntegreerde systemen die een ruimte of proces onder een gecontroleerd vacuüm brengen en behouden. Ze worden gebruikt in industriële productie en laboratoriumtoepassingen waar een lage druk noodzakelijk is voor processen zoals coating, materiaalonderzoek, analysesoftware en monteerwerk.

Een vacuüminstallatie bestaat doorgaans uit een vacuümpomp, een vacuümkamer en aansluitingen zoals kleppen, flenzen en afdichtingen. Belangrijke onderdelen zijn ook meetinstrumenten en regelsystemen die het vacuüm en de procescondities bewaken. Veel installaties bevatten een foreline trap en lekkagesensoren om backstreaming van olie en contaminanten te voorkomen. De constructie vereist vaak roestvrijstalen onderdelen en materiaalkeuzes die geschikt zijn voor het beoogde vacuumniveau en eventuele proceschemie.

Pomptechnieken en vacuumniveaus variëren afhankelijk van de toepassing. Mechanische pompen (bijvoorbeeld zuiger/rotor- en scrollpompen) leveren meestal rough tot medium vacuüm. Voor hogere en ultra-hoge vacuümniveaus worden turbomoleculaire pompen, monomoleculaire pompen of ionenpompen toegepast. Vacuümmetingen worden doorgaans uitgevoerd met sensoren zoals Pirani-, thermokoppels en ionengevers; bijsturing vindt plaats via een regel- en bewakingssysteem.

Toepassingen en sectoren omvatten coating en depositie (PVD/CVD), halfgeleiderfabricage, microscoop- en massaspectrometrieapparatuur, vacuümovens en droogprocessen. Ontwerpkeuzes richten zich op lekkagehandel, materiaalcompatibiliteit, onderhoudsgemak en veiligheids- en nalevingsaspecten. Regelmatig onderhoud, lekdetectie en passende certificering zorgen voor betrouwbare prestaties en lange levensduur van de installatie.