Prozessgase

Prozessgase sind gasförmige Medien, die in technischen oder industriellen Prozessen als Träger, Reaktionspartner, Schutzgas oder Reinigungsmittel eingesetzt werden. Sie ermöglichen kontrollierte Atmosphären, Temperaturführung, chemische Reaktionen und saubere Fertigungen in Bereichen wie Chemie, Metallverarbeitung, Elektronik, Lebensmitteltechnik und Pharmazie. Typische Beispiele sind Stickstoff, Sauerstoff, Argon, Wasserstoff, Kohlendioxid sowie gemischte Gasströme und hochreine Spezialgasgemische.

Sie dienen verschiedenen Funktionen: Inertisierung oder Blanketing zum Schutz vor Oxidation und Kontamination; Reaktionsgase für partikuläre oder chemische Prozesse; Brenn- oder Reduktionsgase in Fertigungs‑ und Wärmebehandlungsprozessen; Reinigungs- und Spülgase in der Anlagenreinigung oder Kühlung. In der Elektronikindustrie finden Prozessgase wie hochreine Hydrogengemische, Chlorwasserstoff oder Silan spezialisierte Anwendungen in der Herstellung von Halbleitern und Displaymaterialien.

Die Qualität von Prozessgasen wird durch Reinheit, Feuchtigkeits-, Öl- und Partikelgehalte bestimmt und nach Standards wie ISO 8573-1 klassifiziert. Typische Reinheitsgrade reichen von technischen Grobreinheiten bis hin zu Ultrareinheiten (hochreine Gase, z. B. 5.0, 4.0). Die Lieferung erfolgt als Gas in Flaschen, Tonnenbehältern oder durch On‑Site‑Gasgenerierung (Druckwechselabsorptionsanlagen, Membrantechnologie) mit entsprechender Überwachung von Druck, Temperatur, Feuchte und Kontamination.

Sicherheit und Handhabung richten sich nach den jeweiligen Eigenschaften der Gase: Asphyxierendes Gasgemisch, Entzündbarkeit, Reaktivität und Toxizität erfordern geeignete Lagerung, Absperr- und Leckageüberwachung, Schulung des Personals sowie berufsgenossenschaftliche oder gesetzliche Vorgaben. Umweltaspekte umfassen Leckagevermeidung, Wiederverwendung von Gasströmen und effiziente Abgasreinigung.

---