Plasmaaufarbeitung
Plasmaaufarbeitung bezeichnet die Behandlung von Oberflächen oder Materialien durch den Einsatz eines Plasmas, eines gasförmigen, teilweise ionisierten Zustands.
Ziel ist die Entfernung von Kontamination, die Veränderung von Oberflächenenergien und die gezielte Funktionalisierung durch chemische
Plasmen können bei niedrigem Druck (Niedrigdruckplasma, RF/DC oder gepulstes Plasma) oder bei atmosphärischem Druck eingesetzt werden.
Anwendungsbereiche finden sich in der Halbleiter- und Mikrosystemtechnik, der Polymer- und Textilbehandlung, der Medizintechnik sowie der
Zu den Vorteilen gehören trockene Prozesse, präzise Steuerung der Oberflächencharakteristik und die Möglichkeit der Oberflächenfunktionalisierung. Nachteile
Sicherheit und Umwelt erfordern geeignete Schutzmaßnahmen, Abgasreinigung und Entsorgungsvorschriften.