Mikroanalysen
Mikroanalysen bezeichnet analytische Verfahren, die die chemische Zusammensetzung, Struktur oder Eigenschaften von Proben auf mikroskopischer Skala bestimmen, oft mit räumlicher Auflösung im Mikrometer- oder Nanometerbereich. Sie liefern informationsreiche Karten von Elementverteilung, Phasenbildung oder Defektstrukturen.
Zu den wichtigsten Mikroanalysen gehören bildgebende Methoden wie die Elektronenstrahl-basierte Mikroanalyse (EPMA/SEM-EDS, TEM-EDS), X-ray basierte Mikroanalyse
Der typische Ablauf umfasst Probenpräparation, Messung mit geeigneten Instrumenten, Kalibrierung mit Standards, Datenverarbeitung und Identifizierung der
Anwendungen finden sich in der Geologie (Mineraleinschlüsse, Zonierung), Materialwissenschaft (Legierungen, Schichten, Defekte), Elektronik und Metallurgie (Fehleranalysen),
Vorteile der Mikroanalyse sind hohe räumliche Auflösung und detaillierte Elementkarten; Einschränkungen umfassen Kosten, Probenvorbereitung, Quantifizierungsunsicherheiten und