Gasausgasung
Gasausgasung, oft auch als Outgassing bezeichnet, ist der Freisetzungsprozess von Gasen, die in oder auf Materialien gespeichert, adsorbiert oder gelöst sind. Unter Vakuumbedingungen oder bei Temperaturerhöhung treten diese Gase aus dem Material in den Umraum über. Gasausgasung bildet eine wesentliche Quelle von Gasbeladung in Vakuumsystemen und kann die Residualgaszusammensetzung beeinflussen, Kontaminationen verursachen und die Erreichung bzw. Erhaltung niedriger Druckwerte erschweren.
Ursachen sind Desorption von Adsorbaten (physikalische Desorption) oder Diffusion gelöster Gase, sowie chemische Umsetzungen oder Sublimation
Die Gasausgasung wird typischerweise durch Messung des Druckanstiegs im Vakuum oder durch Restgasanalysatoren (RGA) charakterisiert. Der
Zur Reduktion der Gasausgasung werden Materialien mit geringer Outgassing-Tendenz bevorzugt, Bauteile vor dem Einsatz gebacken (Bake-out)
Gasausgasung ist besonders relevant für Hochvakuum-, SEM-, Raumfahrts- und Halbleiteranwendungen, wo Gasfreisetzung die Vakuumstabilität, Kontamination und