Vakuumqualität
Vakuumqualität bezeichnet den Grad, zu dem ein Vakuumsystem frei von Luft, Gasen und Verunreinigungen ist. Sie ergibt sich aus dem absoluten Druck, der Stabilität und der Gaszusammensetzung im System sowie aus der Leckdichte und dem Outgassingverhalten der Bauteile. Eine gute Vakuumqualität bedeutet, dass das Volumen weitgehend von Restgasen getrennt bleibt und Prozesse unter kontrollierten Bedingungen ablaufen.
Typische Klassen der Vakuumqualität erfolgen nach Druckbereichen. Grobvakuum umfasst im Allgemeinen Drücke nahe dem Atmosphärendruck bis
Wichtige Kenngrößen sind der Basis- bzw. Enddruck (das niedrigste erreichbare Gleichgewichtsdruck unter Betrieb), die Leckrate (Maß
Faktoren, die die Vakuumqualität beeinflussen, sind Materialien und Oberflächenbeschaffenheit, Outgassing von organischen Resten, Temperatur, Dichtungen (bevorzugt
Anwendungen finden sich in der Halbleiterfertigung, Oberflächen- und Dünnfilmtechnik, Elektronenmikroskopie, Spektroskopie sowie in UHV-Forschung und -Metrologie.