Vakuumkammern
Eine Vakuumkammer ist ein geschlossener Behälter, aus dem Luft und andere Gase durch Vakuumpumpen entfernt werden, um einen Unterdruck zu erzeugen. Je nach erreichbarem Druck reicht die Atmosphäre von grobem Vakuum bis Hoch- oder Ultrahochvakuum. Solche Kammern dienen dazu, Prozesse und Experimente unter kontrollierten Druckbedingungen durchzuführen.
Aufbau und Materialien: Typischerweise bestehen Vakuumkammern aus Edelstahl oder Aluminium und besitzen glatte Innenflächen, Dichtungen aus
Typen und Druckbereiche: Grobvakuum deckt Drücke grob über 1 mbar ab; Hochvakuum reicht von 10^-3 bis 10^-9
Anwendungen: In der Halbleiterfertigung und Oberflächenbeschichtung werden Vakuumkammern für PVD, CVD oder Sputtering genutzt. In der
Sicherheit und Betrieb: Arbeiten unter Vakuumbedingungen erfordern sichere Druckentlastung, Lecksuche und regelmäßige Wartung von Dichtungen, Pumpen
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