Gasreinheit

Gasreinheit bezeichnet das Maß an Reinheit eines Gasgemisches, also den Anteil des gewünschten Gases im Verhältnis zu Verunreinigungen. Sie ist grundlegend für Sicherheit, Prozesssteuerung und Produktqualität in vielen Industrien, von der Halbleiterfertigung bis zum Gesundheitswesen.

Sie wird in Form von Mengenanteilen angegeben, typischerweise als Volumen- oder Molanteil in Prozent oder in Mengenanteilen wie ppm, ppb oder mg/m3. Hochreine Gase können Reinheitsgrade von 99,9 %, 99,99 %, 99,999 % oder höher erreichen, während Industriequalitäten variieren können. Verunreinigungen umfassen Partikel, Feuchtigkeit, Öl oder Schmierstoffe, andere Gasmoleküle oder chemisch reaktive Bestandteile. Die Herkunft liegt oft im Rohgas, in Verarbeitungsprozessen, in der Lagerung oder in Kontaminationen durch Zu- und Ableitungen.

Die Bestimmung der Gasreinheit erfolgt durch Probenahme und analytische Verfahren wie Gaschromatographie, Massenspektrometrie, Infrarotspektroskopie oder spezialisierte Feuchtemessung und Sauerstoffmessung. Die Ergebnisse werden mit Spezifikationen verglichen, um Akzeptanzkriterien festzulegen.

Normen und Spezifikationen für Gasreinheit werden von internationalen und nationalen Organisationen festgelegt, etwa ISO, DIN oder ANSI. Eine bekannte Referenz ist ISO 8573-1, die Kriterien für Reinheit von Druckluft in Bezug auf Partikel, Wasser und Öl festlegt. Hersteller- und Anwendungsdatenblätter ergänzen häufig herstellungsspezifische Reinheitsgrade.

Anwendungen finden sich in der Halbleiter- und Chemieindustrie, beim Schweißen, in der Medizintechnik, bei Labor- und Lebensmittelprozessen sowie in vielen anderen Bereichen, in denen Gasqualität entscheidend ist.