SEMbeeldvorming
SEMbeeldvorming is een beeldvormingstechniek waarbij de oppervlakte van een monstervoorwerp wordt onderzocht door een scherp geconcentreerde elektronenbundel over het oppervlak te scannen. De elektronenbundel wordt versneld met een spanning die meestal enkele kilovolt tot tientallen kilovolt bedraagt, afhankelijk van het type toestel en de gewenste beeldkwaliteiten. Door interacties tussen de bundel en het oppervlak ontstaan verschillende signalen die met detectors kunnen worden opgevangen.
De belangrijkste signalen zijn secundaire elektronen (SE) en backscatter-elektronen (BSE). SE leveren meestal hoge-contrastbeelden met uitstekende
Voorbereiding van monsters is vaak noodzakelijk. Het oppervlak moet doorgaans geleidend zijn; bij niet-geleide monsters wordt