ExcimerlaserSysteme
Excimerlaser-Systeme sind eine Klasse von Gaslasern, die ultraviolette Strahlung erzeugen, indem Eximer-Moleküle angeregt werden. Typische Treibgase sind Mischungen aus edlen Gasen wie Argon, Krypton oder Xenon mit Halogenen wie Fluor oder Chlor. Durch eine schnelle elektrische Entladung werden kurzlebige Eximer-Moleküle gebildet, deren Zerfall extrem kurze, hochenergetische UV-Pulse aussendet. Die Wellenlängen liegen im tiefen UV-Bereich, üblicherweise bei 193 nm (ArF), 248 nm (KrF) und 308 nm (XeCl). Gegenüber anderen Lasertypen ermöglichen Excimerlaser eine sehr feine Materialablation mit geringerer thermischer Beeinflussung.
Aufbau und Betrieb: Ein Excimerlaser-System umfasst eine Gaskammer mit dem Gasgemisch, Hochspannungs- und Steuerungselektronik, Kühlsysteme, eine
Anwendungen: In der Mikrolithographie und Halbleiterfertigung werden Excimerlaser zur direkten Strukturierung feiner Muster eingesetzt. In der
Vorteile und Herausforderungen: Die kurze Wellenlänge erlaubt hohe Auflösung und präzise Ablation bei meist geringer thermischer