micronschaalwerk
Micronschaalwerk is een verzamelnaam voor werk en processen die plaatsvinden op microniveau, meestal tussen ongeveer één en enkele honderden micrometers. Het bestrijkt fabricage, modellering, inspectie en assemblage van structuren en systemen met micrometer-toleranties. Micron-scale arbeid ligt tussen macro- en nanoschaal en vereist hoge precisie, specialistische apparatuur en strikte procescontrole.
Veelgebruikte technieken in micronschaalwerk zijn onder meer microfabricatie en microsysteemtechniek. Hierbij horen methoden zoals fotolithografie en
Materialen die in micronschaalwerk voorkomen zijn onder meer silicium, polysiloxanen en andere polymeren, metalen en samengestelde
Metrologie en kwaliteitscontrole spelen een cruciale rol, met technieken zoals scanner-elektronenmicroscopie, röntgenfluorescentie, AFM en optische profilometrie