Reflexionsdaten
Reflexionsdaten sind Messdaten, die die Intensität des reflektierten Strahls eines Probenmaterials als Funktion einer unabhängigen Variable darstellen, typischerweise dem Einfallswinkel, der Wellenlänge oder dem Impulsübertrag q. Sie dienen der Charakterisierung von Oberflächen, Grenzflächen und dünnen Filmen.
Häufige Messmethoden sind Röntgenreflexometrie (XRR), Neutronenreflexometrie und optische Reflexivität bzw. Ellipsometrie. In der Praxis werden Reflexionsdaten
Die Datenverarbeitung umfasst Hintergrundsubtraktion, Normierung an die einfallende Intensität, Korrekturen für Strahlbreite, Polarisationseinflüsse und Instrumentenauflösung. Zusätzlich
Aus Reflexionsdaten lassen sich Strukturen modellieren und Parameter wie Filmdicke, Dichte, Grenzflächenrauigkeit und Mehrschichtaufbau ableiten. Typische
Speicherung und Metadaten: Reflexionsdaten werden oft als Tabellen gespeichert; begleitende Informationen umfassen Wellenlänge, Polarisation, Einfallswinkel, Materialsystem,
Anwendungen umfassen Dünnfilm- und Grenzflächencharakterisierung in Materialforschung, Oberflächenphysik, Polymerwissenschaft und Halbleitertechnik. Vorteile liegen in der hohen