OutgassingMinimierung
OutgassingMinimierung bezeichnet den planvollen Ansatz zur Verringerung der Ausgasung flüchtiger Substanzen aus Werkstoffen in Vakuum- oder kontrollierten Umgebungen. Ziel ist, Kontamination von Oberflächen, optischen Schichten, Sensoren und Dichtungen zu vermeiden und die Vakuumleistung sowie die Langzeitstabilität von Bauteilen sicherzustellen. Der Begriff wird in Bereichen wie Raumfahrt, Halbleiterfertigung, Präzisionsoptik und Vakuumtechnik verwendet.
Ursachen sind Restfeuchte, Lösungsmittel, Weichmacher und Monomere in Kunststoffen oder Klebstoffen, die unter Vakuum oder erhöhter
Grundprinzipien der Minimierung umfassen die Auswahl bekannter Low-Outgassing-Materialien, Vorbehandlung und Trocknung, gründliche Reinigung vor dem Zusammenbau
Typische Verfahren sind Vorbake, anschließendes Reinigen, Degas in Vakuum und gegebenenfalls Vorkonditionierung von Bauteilen. Bewertung erfolgt
Anwendungsgebiete reichen von Raumfahrt- und UV-/Infrarot-Optik über Hochvakuumgeräte bis zu Reinräumen in der Halbleiterfertigung. Praxisbeispiele umfassen