Mehrschichtaufbauten
Ein Mehrschichtaufbau bezeichnet eine Abfolge von zwei oder mehreren dünnen Schichten unterschiedlicher Materialien, die auf ein Substrat aufgebracht werden. Ziel ist es, Gesamteigenschaften des Systems zu steuern, beispielsweise optische, elektrische, mechanische oder chemische Eigenschaften. Typisch sind Lagen im Nanometer- bis Mikrometerbereich und klar abgegrenzte Grenzflächen, die Interferenzen, Diffusionsbarrieren, Haftung oder mechanische Stabilität ermöglichen.
Anwendungsgebiete umfassen die Optik (Antireflex- und Hochreflexionsschichtsysteme, Dielektrikums-Spiegel), Elektronik und Mikroelektronik (Barriere-, Passivierungs- und Kontaktschichten, Gate-Strukturen),
Design und Herstellung: Die Schichtfolge, Dicke und Materialwahl bestimmen Refraktion, Absorption, Diffusionseigenschaften sowie Haftung. Bei optischen
Charakterisierung: Wichtige Methoden sind Ellipsometrie, spektrale Transmissionsmessungen, TEM- oder SEM-Untersuchungen der Grenzflächen, Hafttests und Stabilitätstests. Wichtige
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