dunnefilmvarianten
Een dunnefilmvariant is een specifieke uitvoering van een dunne film die op een substraat wordt aangebracht met het doel bepaalde eigenschappen te realiseren. De term wordt gebruikt om variaties in samenstelling, kristallijne structuur en dikte aan te duiden die leiden tot verschillende optische, elektrische of mechanische eigenschappen.
Varianten kunnen worden onderverdeeld naar materiaalklasse (metalen, oxiden zoals SiO2 of TiO2, nitriden, halfgeleiders, organische polymeren),
Productie gebeurt meestal via dunne-filmdeposities zoals fysische afzetting (PVD), chemische afzetting (CVD), atomaire laagdepositie (ALD) of
Toepassingen omvatten optische coatings (antireflectie en filters), absorberlagen in zonnepanelen, elektronische en fotonische apparaten (inclusief transistorschermen
Kenmerken worden onderzocht met technieken als ellipsometrie, spectroscopie, AFM, SEM en XRD. Belangrijke uitdagingen zijn filmkwaliteit