Partikelzählern

Partikelzähler sind Messgeräte, die die Anzahl von Partikeln in einem Trägergas oder -medium erfassen und oft auch deren Größe schätzen. Sie werden in Bereichen wie Luftreinhaltung, Halbleiterfertigung, Pharmazie, Kliniken und Gebäudetechnik eingesetzt, um die Reinheit von Luft oder Prozessen zu überwachen.

Die gängigsten Typen sind optische Partikelzähler (OPC) und Kondensationspartikelzähler (CPC). OPC verwenden Laser- oder LED-Lichtstreuung, um Signalspuren einzelner Partikel zu detektieren und zu zählen; CPC arbeiten durch Kondensation, wodurch winzige Partikel vergrößert werden, sodass sie sichtbar gezählt werden können. Es gibt portable Handheld-Geräte ebenso wie fest installierte Systeme in Reinräumen oder Lüftungssystemen.

Arbeitsprinzipien: OPC messen die Lichtpulse, die von streuenden Partikeln erzeugt werden, und liefern typischerweise eine Größenkanalverteilung (z. B. 0,3 µm bis 10 µm). CPC zählen alle Partikel ab einer Startgröße, einschließlich ultrafeiner Aerosole. Ergebnisse können als Teilchenkonzentration pro Volumen oder als Größenverteilung ausgegeben werden.

Ausgabe: Typische Messgrößen sind Konzentrationen in Teilchen pro Kubikmeter (1/m³) oder pro Liter, manchmal auch kumulative oder differentielle Verteilungen. Viele Systeme ermöglichen zeitlich aufgelöste Messwerte und Datenexporte.

Kalibrierung und Standards: Zur Kalibrierung werden Referenzpartikel verwendet (z. B. PSL-Kugeln). Normen wie ISO 21501-4 für OPC und ISO 14644 für Reinräume geben Vorgaben zu Kalibrierroutinen. Regelmäßige Neukalibrierung (häufig alle 6–12 Monate) und Baseline-Checks sind empfohlen.

Anwendungen und Einschränkungen: Einsatzgebunden in Reinräumen, der Halbleiter- und Pharmaindustrie sowie der Innenraumluftüberwachung. Grenzen ergeben sich durch Abhängigkeiten von Partikelgröße, Form, Optik und bei hohen Konzentrationen durch Koinzidenzfehler; korrekte Interpretation erfordert principienverständnis und regelmäßige Kalibrierung.