Niedrigvakuum

Niedrigvakuum, im Deutschen oft als Low Vacuum bezeichnet, ist ein Druckbereich der Vakuumtechnik, der deutlich unter dem Atmosphärendruck liegt, aber nicht so niedrig wie das Hochvakuum. Er umfasst grob Drücke von einigen Pascal bis zu mehreren hundert Pascal, das entspricht ungefähr 0,01 bis 5 Millibar.

In diesem Bereich werden typischerweise mechanische Pumpen eingesetzt, darunter Drehschieberpumpen, Scrollpumpen und Trockenpumpen. Zur Messung der Drücke dienen Sensoren wie Pirani-Gauges, Kapazitive Membran- bzw. Kapazitätsmanometer; für spezielle Anwendungen können auch McLeod-Gauges verwendet werden.

Niedrigvakuum wird in Anwendungen genutzt, die eine Verringerung des Luftdrucks erfordern, ohne die Komplexität oder Kosten eines Hochvakuums. Typische Anwendungen sind Vakuumtrocknung und Entgasung von Materialien, Vakuumverpackung, einfache Beschichtungsverfahren, Lecksuche und Probenvorbereitung in der Analytik. Die Wahl der Pumpe und der Messung hängt von der benötigten Druckstabilität, der Prozesschemie und thermischen Beanspruchung ab. LV bietet eine kosteneffiziente Lösung, wenn geringere Drücke ausreichen und hohe Prozessgeschwindigkeit benötigt wird, ohne in das höhere Leistungsniveau des Hochvakuums vorzudringen.