Kohdemateriaalin

Kohdemateriaalin on materiaali, jota käsitellään, analysoidaan tai johon suoritetaan toimenpiteitä tutkimus- tai tuotantoprosessissa. Termi kattaa sekä näytteet, joista saadut mittaustulokset tulkitaan, että prosessissa käytetyt materiaalit, kuten sputteroinnissa käytettävä kohdemateriaali tai ionisessa kokeessa kohteena oleva näyte. Kohdemateriaali määrittelee usein menetelmän asetukset, mittaustulosten luotettavuuden ja lopputuotteiden laadun.

Kohdemateriaalin valinta riippuu käyttökohteesta. Esimerkkejä ovat materiaalitutkimukset, kuten metallin ja epäpuhtausten analysointi, sekä valmistusmenetelmät, kuten magnetron-sputterointi, jossa kohdemateriaalina on ohutkalvoa varten käytettävä target. Säteilytieteessä tai ionimuokkauksessa kohdemateriaali on se aine, vastaanotetut tai läpäisseet hiukkaset ovat peräisin. Näytteille voidaan valita erilaisia rakennetta ja koostumusta omaavia kohdemateriaaleja, mukaan lukien monikerroksiset tai sekoitetut systeemit.

Tärkeitä seikkoja kohdemateriaalin valinnassa ovat puhtaus ja koostumus, fyysiset ominaisuudet (koko, muoto, paksuus ja epäpuhtaudet), sekä kemiallinen vakaus ja yhteensopivuus käytettävien välineiden kanssa. Myös sen käytännön käsittely, varastointi ja merkintä vaikuttavat mittausten luotettavuuteen. Hyvin valittu kohdemateriaali varmistaa toistettavat tulokset, vähentää taustahäiriöitä ja mahdollistaa tarkkojen analyysien sekä laadunvarmistuksen.