Ionenimpulse
Ionenimpulse bezeichnet die Impulsübertragung eines gerichteten Fluids oder Strahls von Ionen auf ein Zielmaterial. In der Praxis wird der Ionenimpuls oft als Impuls pro Flächeneinheit angegeben und hängt von der Art der Ionen, deren Energie, dem Fluss sowie dem Einfallswinkel ab. Für einen monoenergetischen, normal auftreffenden Ionenstrahl ergibt sich die Impulsübertragung pro Flächeneinheit grob zu I/A ≈ Φp, wobei Φ der Ionenzufluss (Ionen pro Fläche pro Zeit) und p der Impuls pro Ion ist (p = √(2 m E)).
Mechanismus und Auswirkungen: Beim Auftreffen der Ionen wird ein Teil des Impulses direkt auf das Zielgitter
Anwendungen und Bedeutung: Der Ionenimpuls spielt eine zentrale Rolle in der Plasmasätz- und Dünnschichttechnik sowie in
Messung und Modellierung: Der Impuls kann indirekt aus Messgrößen wie Sputterwirkungsgrad, Implantationsprofilen oder Oberflächenverformungen abgeleitet werden.