chemischmechanischer
Chemischmechanischer Bezug bezeichnet die Kopplung chemischer Prozesse mit mechanischen Zuständen in Materialien. Der Begriff wird oft synonym mit Chemomechanik oder chemo-mechanics verwendet und beschreibt, wie Reaktionen, Diffusion, Phasenänderungen mit Spannung, Dehnung und mechanischer Belastung interagieren. Ziel ist ein integriertes Verständnis der wechselseitigen Einflüsse beider Größen.
Der Bereich umfasst Materialienwissenschaft, Korrosion, Oberflächentechnik, Energie-Systeme wie Batterien sowie Geochemie. Typische Phänomene sind spannungsunterstützte Diffusion,
Ein bekanntes Beispiel ist die chemisch-mechanische Planarisierung (CMP) in der Halbleiterfertigung, bei der in einer Paste
Zur Beschreibung werden gekoppelte Modelle verwendet, die Diffusion, Reaktion, Mechanik und Temperatur integrieren (Chemomechanik als Mehr-Physik-Problem).
Die chemisch-mechanische Kopplung erklärt Materialversagen besser, unterstützt die Oberflächenoptimierung und stärkt die Entwicklung langlebiger Energiespeicher. Herausforderungen