Prozessgas
Prozessgas bezeichnet in der Industrie ein Gas oder Gasgemisch, das in einem Fertigungs- oder Verarbeitungsprozess als Reaktionspartner, Reaktionsmedium oder Schutzgas dient.
Wichtige Eigenschaften sind chemische Zusammensetzung, Reinheit, Druck, Feuchtegehalt und Temperaturverhalten. Die Qualität wird in Reinheitsgraden festgelegt,
Zu den typischen Prozessgasen gehören inert wie Stickstoff, Argon oder Helium; reaktive bzw. brennbare Gase wie
Anwendungsfelder sind die Schutzatmosphäre beim Schweißen, Wärmebehandlung, chemische Synthese, Oberflächenbehandlung, Halbleiterfertigung sowie Lebensmittel- und Getränkeprozesse, in
Bereitstellung und Aufbereitung erfolgen über Gasflaschen, Tankwagen oder zentrale Bulk-Anlagen. Vor-Ort-Filterung, Entfeuchtung, Trocknung, Druckregelung, Massendurchflussregelung und
Sicherheit und Regulierung betreffen Brandschutz, toxische Gefahren, Sauerstoffmangel, Gasleckagen sowie die Einhaltung von Normen und Vorschriften