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Prozessgas

Prozessgas bezeichnet in der Industrie ein Gas oder Gasgemisch, das in einem Fertigungs- oder Verarbeitungsprozess als Reaktionspartner, Reaktionsmedium oder Schutzgas dient.

Wichtige Eigenschaften sind chemische Zusammensetzung, Reinheit, Druck, Feuchtegehalt und Temperaturverhalten. Die Qualität wird in Reinheitsgraden festgelegt,

Zu den typischen Prozessgasen gehören inert wie Stickstoff, Argon oder Helium; reaktive bzw. brennbare Gase wie

Anwendungsfelder sind die Schutzatmosphäre beim Schweißen, Wärmebehandlung, chemische Synthese, Oberflächenbehandlung, Halbleiterfertigung sowie Lebensmittel- und Getränkeprozesse, in

Bereitstellung und Aufbereitung erfolgen über Gasflaschen, Tankwagen oder zentrale Bulk-Anlagen. Vor-Ort-Filterung, Entfeuchtung, Trocknung, Druckregelung, Massendurchflussregelung und

Sicherheit und Regulierung betreffen Brandschutz, toxische Gefahren, Sauerstoffmangel, Gasleckagen sowie die Einhaltung von Normen und Vorschriften

beispielsweise
technisches
Gas,
hochreines
Gas
oder
Ultra-Hochrein-Spezifikationen
(UHP).
Wasserstoff,
Sauerstoff
und
Kohlenstoffdioxid;
sowie
Mischungen
für
Schutz-
oder
Reaktionsatmosphären.
In
der
Halbleitertechnik
werden
oft
hochreine
Gasgemische
verwendet.
denen
Gasdruck,
Trockenheit
oder
Gaszusammensetzung
Prozessbedingungen
beeinflussen.
Leckageüberwachung
sichern
die
Prozesssicherheit
und
die
Kostenkontrolle.
zum
Umgang
mit
Gefahrstoffen,
GHS-Kennzeichnung
und
branchenspezifischen
Standards.