Mikroaktoren
Mikroaktoren sind Stellglieder, die Bewegungen und Kräfte auf mikrometer- bis millimetergroßer Skala erzeugen. Sie wandeln elektrische, magnetische, thermoelektrische oder elektrochemische Signale in mechanische Arbeit um und sind zentrale Bausteine von MEMS (mikroelektrische-mechanische Systeme) sowie von NEMS in der Mikro- und Nanotechnologie.
Zu den verbreiteten Typen gehören elektrostatik-aktoren (zum Beispiel Kamm- oder Comb-Antriebe), piezoelektrische Dünnfilm-Aktoren, thermoelektrische oder elektrothermische
Die Herstellung erfolgt meist mit Silizium-MEMS-Technologien: Mikrostrukturen werden durch Dünnfilmabscheidung, Lithografie, Ätzen und Montage erzeugt und
Anwendungen finden sich in optischen Systemen (Mikrospiegelarrays, Strahllenkung, modulierte Optik), Mikrofluidik (Ventile, Mikropumpen), Biomedizin (präzise Dosier-