MEMSactuatoren
MEMS-Aktuatoren sind mikroskopisch kleine elektromechanische Systeme, die elektrische, thermische, magnetische oder optische Energie in mechanische Bewegung umsetzen. Sie gehören zur Gruppe der MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) und werden häufig zusammen mit Sensoren und Elektronik auf einem gemeinsamen Substrat integriert. Die typischen Stellwege liegen im Mikrometerbereich, die erzeugbaren Kräfte reichen je nach Bauart von Nanonewton bis Mikronewton.
Zu den gängigen Antriebsprinzipien gehören elektrostatische Aktuatoren (Kombiantriebe, Parallelplatten), elektromagnetische Systeme (Spulen und Magnete), elektrothermische Aktuatoren
Typische Materialien sind Silizium, Siliziumdioxid, Polymere und Metalle. Die Herstellung erfolgt überwiegend auf Wafern durch Mikrostrukturierung:
Typische Architekturtypen umfassen laterale Kombiantriebe, vertikale Parallelplatten, Piezo-Bimetall- oder Laminatanordnungen sowie Membranventile und Mikrogreifer. Beispiele für
MEMS-Aktuatoren werden oft in Gesamtsysteme mit Sensoren und Steuerlogik integriert, um präzise Regelung, Dosierung oder Positionsbestimmung
Herausforderungen betreffen Zuverlässigkeit, Stiction, Verschleiß, Dämpfung, Wärmeentwicklung und Verpackung. Die Lebensdauer hängt stark von Umweltbedingungen, Vakuumverpackung