EBSDbasierte
EBSDbasierte Analysen beziehen sich auf Electron Backscatter Diffraction (EBSD) und auf die daraus gewonnenen Daten, die in der Rasterelektronenmikroskopie (REM) zur Charakterisierung der Kristallorientierung, Mikrostruktur und Textur eingesetzt werden.
Prinzipiell werden in einem gekippten REM-Raum Rückstreu-Elektronen über Kikuchi-Kristallformen auf einem Detektorschirm aufgezeichnet. Aus den gekoppelten
Typische Outputs EBSD-basierter Analysen umfassen Orientierungskarten, Phasen- oder Texturkarten, Korngrenzen, Korngrößenverteilungen und statistische Beschreibungen der Kristallorientierung.
Anwendungen finden sich vor allem in der Metallurgie, Werkstoffkunde, Keramikforschung und Geologie. EBSD-basierte Methoden werden genutzt,
Voraussetzungen umfassen eine gut polierte, ebene Probenoberfläche, eine Probenkippung von etwa 70 Grad und geeignete Betriebseinstellungen
Zu den gängigen Softwarelösungen gehören kommerzielle Pakete wie OIM Analysis und Aztec EBSD sowie Open-Source-Tools wie