plasmapohjainen
Plasmapohjainen on suomenkielinen adjektiivi, joka viittaa johonkin, joka perustuu plasmaan tai sitä käyttää. Plasma puolestaan on kaasun neljäs olomuoto, jossa atomit ovat ionisoituneet ja koostuvat edelleen varauksellisista ioneista, elektroneista ja usein neutraaleista atomeista. Plasmapohjaisia prosesseja voidaan käyttää moninaisesti materiaalien valmistuksessa, muokkauksessa ja käsittelyssä.
Plasmaa voidaan tuottaa erilaisilla tavoilla ja olosuhteilla, kuten alipainesäiliöissä sähköisesti tai magneettisesti ylläpidetyin katkaisuin. Plasman reaktiiviset
Käyttökohteita ovat muun muassa puolijohdevalmistus, jossa plazmaa käytetään elektronisten kalvojen tai mikrosirujen pintojen etsaamiseen tai pinnoittamiseen,
Plasmapohjaisia prosesseja ohjaavat prosessin parametrit kuten paine, virta, jännite ja kaasuseokset. Ne voivat vaatia erityisiä turvallisuus-