Substratbehandlung
Substratbehandlung bezeichnet die vorbereitende Bearbeitung der Oberfläche eines Substrats, um deren physikalische und chemische Eigenschaften für nachfolgende Prozesse zu optimieren. Typische Ziele sind erhöhte Oberflächenreinheit, höhere Oberflächenenergie, gewünschte Rauheit und aktive Gruppen, die Haftung, Benetzbarkeit und gleichmäßige Verteilung von Beschichtungen, Klebstoffen oder chemischen Modifikationen verbessern.
Typische Verfahren umfassen: Mechanische Reinigung und Entfettung wie Schleifen, Reiben, Strahlen und Ultraschallreinigung; chemische Reinigung mit
Anwendungen finden sich in der Beschichtungs- und Klebtechnik, der Elektronik- und Halbleiterfertigung, der Photovoltaik, im Automobil-