Oxidschichten
Oxidschichten sind dünne chemische Verbindungen, die sich an Oberflächen von Metallen, Halbleitern oder Keramiken durch Reaktion mit Sauerstoff bilden. Sie können als nativer Oxid bei Raumtemperatur entstehen oder als absichtlich erzeugte Schutzschicht auftreten. Je nach Material und Umwelt kann die Schicht dicht und fest oder porös und spröde sein.
Bildung und Mechanismen: Die Oxidbildung erfolgt durch Reaktion mit Sauerstoff aus der Umgebung. Die Schichtdicke wächst
Eigenschaften: Oxidschichten haben typischerweise Dicken von wenigen Nanometern bis zu einigen zehn Nanometern. Sie können elektrisch
Beispiele: Aluminium bildet eine dünne Al2O3-Schicht, Chrom Cr2O3, Eisen Fe2O3 oder Fe3O4, Silizium SiO2 und Titan
Anwendungen und Bedeutung: Schutz gegen Korrosion, in der Halbleitertechnik als Gate- oder Isolationsschicht, in der Optik
Stabilität und Schadensmechanismen: Oxidschichten können unter mechanischer Belastung, Temperaturwechseln oder aggressiven Umgebungen abblättern oder spalten. Ihre
Charakterisierung: Dicke, Struktur und Qualität werden mit Methoden wie XPS, Ellipsometrie, TEM oder Rastersondenmikroskopie untersucht.