Oberflächenmorphologie
Oberflächenmorphologie bezeichnet die Oberflächenstruktur eines Materials auf der Mikro- bis Nanoebene, einschließlich Topografie, Textur und Rauheit. Sie erfasst Merkmale wie Rauheit, Abtrag- oder Aufbaueffekte, Terrassen, Kristallfacetten und Defekte sowie deren räumliche Verteilung. Die Morphologie beeinflusst zentrale Eigenschaften der Oberfläche, darunter Haftung, Reibung, Verschleiß, Benetzung sowie optische und katalytische Eigenschaften.
Zur Charakterisierung werden bildgebende und profilometrische Verfahren eingesetzt. Typische Methoden sind Rasterelektronenmikroskopie (SEM) und Rasterkraftmikroskopie (AFM)
Entstehung und Auswirkungen: Oberflächenmorphologie entsteht durch Fertigungsprozesse wie Polieren, Schleifen, Ätzen oder Dünnschichtabscheidung und durch physikalische
Anwendungsbeispiele: In der Halbleitertechnik beeinflusst die Planarität die Funktionalität von Bauelementen; in der Biomedizin bestimmt die