Mikrometerdicken

Mikrometerdicken bezeichnet Dicken von Materialien oder Schichtsystemen im Bereich von wenigen Mikrometern. Der Begriff findet besonders in der Dünnfilmtechnik, Halbleiterfertigung, Oberflächen- und Materialwissenschaft sowie in der Metall- und Polymertechnik Anwendung. Übliche Dicken reichen von etwa 1 μm bis zu mehreren zehn μm; in bestimmten Anwendungen können die Dicken auch einige hundert μm betragen. Damit liegen Mikrometerdicken zwischen Nanometer-breiten Filmen und Millimetern, die in anderen Anwendungen vorkommen.

Messung und Methoden: Zur Bestimmung werden verschiedene Verfahren eingesetzt. Nicht-zerstörende Methoden umfassen Stylus-Profilometrie (Tastprofilometer) und optische Profilometrie, Interferometrie, sowie Spektroskopie- oder Ellipsometrie für optisch gleichmäßige Schichten. Dünnfilm- oder Schichtdicken lassen sich außerdem per Röntgen-Reflektometrie (XRR) oder Sekundärem Elektronenmikroskopie in Querschnitten bestimmen. Destruktive Methoden umfassen Schnitte sowie die Mikroskopie von Querschnitten. Die Wahl des Verfahrens hängt von Material, Homogenität der Schicht, Substrat und der gewünschten Genauigkeit ab.

Anwendungen und Bedeutung: Mikrometerdicken spielen eine zentrale Rolle bei der Steuerung von Oberflächenbeschichtungen, Abdichtungen, optischen Filtern, MEMS-Bauteilen und polymeren Funktionsschichten. Sie beeinflussen mechanische Eigenschaften wie Härte, Festigkeit, Dispersion von Licht sowie chemische Barrierewirkung. Messungen dienen der Qualitätssicherung, Prozessoptimierung und Standards in Industrieprozessen.