Mikrofabrikoinnissa

Mikrofabrikoinnissa viittaa prosessiin, jossa valmistetaan mikroskooppisen pieniä rakenteita ja laitteita. Nämä rakenteet ovat tyypillisesti kooltaan mikrometrejä, eli miljoonasosia metristä. Mikrofabrikoinnilla luodaan komponentteja, joita käytetään monissa korkean teknologian sovelluksissa, kuten puolijohteissa, MEMS-laitteissa (Micro-Electro-Mechanical Systems) ja mikrofluidistiikassa.

Prosessiin kuuluu useita vaiheita, joista keskeisiä ovat piirustus, etsaus, kerrostus ja litografia. Piirustuksessa luodaan haluttu kuvio substraatin pinnalle. Etsaus poistaa materiaalia alueista, joita ei ole suojattu piirroksella. Kerrostus lisää uusia materiaaleja substraatin pinnalle. Litografia on keskeinen tekniikka, jolla kuvio siirretään valoherkälle materiaalille. Näitä menetelmiä sovelletaan usein puhtaissa tiloissa kontaminaation minimoimiseksi.

Mikrofabrikoinnin yleisimpiä materiaaleja ovat pii, lasi ja erilaiset metallit. Menetelmät voidaan jakaa karkeasti kahteen luokkaan: poistava fabrikointi (subtractive fabrication), jossa materiaalia poistetaan substraatista, ja lisäysvalmistus (additive manufacturing), jossa materiaalia lisätään kerros kerrokselta. Nämä tekniikat mahdollistavat monimutkaisten ja toiminnallisten mikrokomponenttien valmistuksen, jotka ovat välttämättömiä modernin teknologian kehitykselle. Sovelluksia löytyy elektroniikasta lääketieteellisiin laitteisiin ja antureihin.