Mikrofabrikoinnissa
Mikrofabrikoinnissa viittaa prosessiin, jossa valmistetaan mikroskooppisen pieniä rakenteita ja laitteita. Nämä rakenteet ovat tyypillisesti kooltaan mikrometrejä, eli miljoonasosia metristä. Mikrofabrikoinnilla luodaan komponentteja, joita käytetään monissa korkean teknologian sovelluksissa, kuten puolijohteissa, MEMS-laitteissa (Micro-Electro-Mechanical Systems) ja mikrofluidistiikassa.
Prosessiin kuuluu useita vaiheita, joista keskeisiä ovat piirustus, etsaus, kerrostus ja litografia. Piirustuksessa luodaan haluttu kuvio
Mikrofabrikoinnin yleisimpiä materiaaleja ovat pii, lasi ja erilaiset metallit. Menetelmät voidaan jakaa karkeasti kahteen luokkaan: poistava