Mikrofabrikoinnilla
Mikrofabrikoinnilla viitataan pienten, mikroskooppisten rakenteiden ja laitteiden valmistukseen. Nämä rakenteet ovat tyypillisesti kooltaan mikrometrejä tai millimetrejä. Mikrofabrikointi on keskeinen teknologia useilla eri aloilla, kuten puolijohdeteollisuudessa, MEMS-laitteiden (Micro-Electro-Mechanical Systems) valmistuksessa ja bioteknologiassa.
Yleisimpiä mikrofabrikoinnin menetelmiä ovat fotolitografia, etsaus ja ohutkalvojen kasvatus. Fotolitografia käyttää valoa kuvioiden siirtämiseen alustalle, minkä
Mikrofabrikointia hyödynnetään laajasti integroitujen piirien eli mikrosirujen valmistuksessa, jotka ovat kaiken modernin elektroniikan perusta. Lisäksi se
Mikrofabrikointiprosessit vaativat äärimmäistä tarkkuutta ja erittäin puhtaita olosuhteita, jotta voidaan varmistaa valmistettavien rakenteiden toimivuus ja luotettavuus.