Mikroanalyseinstrumente
Mikroanalyseinstrumente bezeichnet eine Gruppe von Messgeräten, die chemische Zusammensetzung, Phasenverteilung und Materialeigenschaften auf mikroskopischer Skala untersuchen. Sie ermöglichen qualitative und quantitative Analysen in Regionen, die mit konventionellen Bulk-Verfahren nicht zugänglich sind, oft gekoppelt mit bildgebenden Funktionen zur Strukturbeurteilung.
Zu den wichtigsten Technologien gehören: Elektronenmikrosonde (EMS) mit WDS- und EDS-Detektion, eingebettet in Rasterelektronenmikroskope (SEM) oder
Anwendungen finden sich in der Geologie, Mineralogie, Metallurgie, Halbleitertechnik, Werkstoffkunde, Forensik und Biologie, wo Elementverteilung, Phasenidentifikation,
Die Daten liefern Elementkarten, Quantitäten mit Matrixkorrekturen (ZAF, phi-rho-z), Phasen- und Zustandsinformationen sowie räumlich aufgelöste Strukturen.
Aufgrund der Kosten, des Bedienaufwands und der Probenvorbereitung sind Mikroanalyseinstrumente in der Regel spezialisierte Einrichtungen. Die