Beschichtungsstruktur
Beschichtungsstruktur bezeichnet die innere Architektur einer Beschichtung, einschließlich Phasenverteilung, Mikrokornstruktur, Porosität, Defekte und Grenzflächen. Sie entsteht durch das Beschichtungsverfahren, den Substrat, Prozessparameter und eventuelle Nachbehandlung. Die Struktur gliedert sich in Makrostruktur (Schichtdicke, Mehrlagigkeit) und Mikrostruktur (Kornformen, Textur, Phasenanordnung). Die Beschichtungsstruktur beeinflusst maßgeblich tribologische, chemische und thermische Eigenschaften sowie die Haftung am Substrat.
Wichtige Merkmale sind die Phasenlage (metallisch, keramisch, polymer) und deren Verteilung, Porosität und Dichte, Korngröße und
Die Verfahren beeinflussen die Beschichtungsstruktur: Physikalische Abscheidung (PVD) und chemische Abscheidung (CVD) erzeugen je nach Parameter
Zur Analyse dienen Mikroskopie (optisch, SEM, TEM), Röntgendiffraktometrie (XRD) zur Phasen- und Texturbestimmung, Profilometrie zur Dicke,