tyhjiöpumpun

Tyhjiöpumppu on laite, jolla voidaan luoda ja ylläpitää tyhjiö, eli tilanne, jossa kaasunpaine on alhaisempi kuin ympäröivän ilmanpaine. Tyhjiöpumpun tarkoituksena on poistaa kaasumolekyylejä tilasta tai siirtää ne järjestelmästä ulos, jolloin tilassa saavutetaan haluttu alipaine.

Toimintaperiaate vaihtelee pumpun tyypin mukaan. Mekaanisissa tyhjiöpumpuissa, kuten mäntä- ja pyöriväurapumpuissa, ilman tilavuus muuttuu liikkuvien osien avulla ja kaasua imeytyy ulos. Öljyvoitelu- ja tiivistysjärjestelmät ovat yleisiä näissä malleissa. Öljyluonteiset pumput voivat saavuttaa alhaisemman alipaineen, mutta ne tarvitsevat öljynvaihtoja ja huoltoa. Öljyttömät pumput käyttävät erilaisia tiiviste- ja rakennetekniikoita sekä sähkömekanismeja.

Korkeamman alipaineen ja puhtaan prosessin tarpeisiin soveltuvat diffuosiopumput ja turbomolekyylipumput. Diffuosiopumppu käyttää korkeaa lämpötilaa ja nesteöljyä kaasumolekyylien siirtämiseen ulos järjestelmästä, kun taas turbomolekyylipumput hyödyntävät nopeasti pyöriviä siipiä kaasun suuntaamiseen ulos ja tarjoavat erittäin korkean alipaineen.

Sovellukset kattavat laboratorio- ja tutkija-alueet, elektroniikka- ja Puolijohde-teollisuuden prosessit, laserteknologia sekä pakkaus- ja pintakäsittelytoiminnot. Pumpun valintaan vaikuttavat haluttu alipaine, kaasujen tyypit, järjestelmän kuumuus ja huollon vaatimukset.