tyhjiöpumpun
Tyhjiöpumppu on laite, jolla voidaan luoda ja ylläpitää tyhjiö, eli tilanne, jossa kaasunpaine on alhaisempi kuin ympäröivän ilmanpaine. Tyhjiöpumpun tarkoituksena on poistaa kaasumolekyylejä tilasta tai siirtää ne järjestelmästä ulos, jolloin tilassa saavutetaan haluttu alipaine.
Toimintaperiaate vaihtelee pumpun tyypin mukaan. Mekaanisissa tyhjiöpumpuissa, kuten mäntä- ja pyöriväurapumpuissa, ilman tilavuus muuttuu liikkuvien osien
Korkeamman alipaineen ja puhtaan prosessin tarpeisiin soveltuvat diffuosiopumput ja turbomolekyylipumput. Diffuosiopumppu käyttää korkeaa lämpötilaa ja nesteöljyä
Sovellukset kattavat laboratorio- ja tutkija-alueet, elektroniikka- ja Puolijohde-teollisuuden prosessit, laserteknologia sekä pakkaus- ja pintakäsittelytoiminnot. Pumpun valintaan