profilometriával

Profilometriával a felületek magasságváltozásait mérjük, hogy meghatározzuk a felület profilját és topográfiáját. A mérés történhet érintéses profilométerrel (stylus) vagy érintésmentes optikai profilométerrel, amelyek lehetnek konfokális, interferometrikus vagy strukturált fényt használó eszközök. Az adatokból levezethető a felület érdessége, görbülete és kontúrjellemzői.

Érintéses profilométereknél a stylus a felületen végigvezetve regisztrálja a magasságváltozásokat, így profilt kapunk. Optikai módszerek fényalapú mérést alkalmaznak, előnyük a felület megkímélése, hátrányuk pedig lehet a reflexiók vagy átlátszóság miatti zavar. A választott módszer függ a felület anyagától, fényvisszaverődésétől és a kívánt felbontástól.

Az adatokból jellemzőket számítanak: lineáris profilmérés esetén Ra (átlagos érdeség), Rz (átlagos kiemelkedések és mélyedések), Rq ( RMS érdeség) és Rt (teljes magasság). Areal méréseknél alkalmazott paraméterek közé tartozik Sa, Sz, Sq és társított statisztikák. A feldolgozáshoz gyakran használnak szűrést (pl. Gauss-szűrő vagy megfelelő küszöbértékek), hogy elkülönítsék a simított vagy magas frekvenciájú elemeket.

Alkalmazások közé tartozik a gyártásban és minőségellenőrzésben a felületek összehasonlítása, tribológiai vizsgálatok, illetve félvezető és orvostechnikai alkatrészek felületmérése. Fontos a mérés nyomon követhetősége és az eredmények bizonytalanságának értékelése a szabványoknak megfelelően.